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        氣流控制系統

        LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動的流體不同的流量效應而制成,…

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        產品優勢/ Product advantages
        • 等離子體流動控制設備 產品介紹

             

          LFIX系列氣流控制系統由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量調節閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動的流體不同的流量效應而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量,并分別控制各自氣體的流量,進入混合器進行精密混合,混合后的氣體按需輸出給用氣點,同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測,保證混合的..性。



                                                                                                                                                                                                                                                                                                         流量計調校裝置
        •   產品用途

             

          廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域.



                                                                                                                                                                                                                                            流量計調校裝置
        • 產品特點

              

          氣流控制系統能準確可靠的測量和控制氣體質量流量,測量和控制精度高、零飄小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓力的影響,為半導體設備提供氮氣控制及氮氣溫度的控制測量,保證半導體設備能夠正常運行。




                                                                                                                                                                                                                                                                                                                     流量計調校裝置

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